光阻组成物及使用它之图案形成方法

摘要

本发明揭示一种光阻组成物，其包括至少一种选自具有苯氧基之胺化合物、具有苯氧基之铵盐化合物、具有磺酸酯基之胺化合物、及具有磺酸酯基之铵盐化合物的含氮化合物；及一种使用此组成物之图案形成方法。