应用于微奈米压印制程之模具

摘要

本发明揭露一种应用于微奈米压印制程之模具，该模具系用以透过一材料层而于一基板上压印一图案，其包含一上表面、一下表面、一预定结构以及一溢流控制结构。该上表面及该下表面系相互对应，该预定结构系设置于该模具之下表面，该溢流控制结构系用以维持该材料层于该模具与该基板间之压力。