正型感光性组成物及使用它之图案形成方法

摘要

本发明揭示一种正型感光性组成物，其包括：(A)化合物，其在以光化射线或放射线照射时可产生酸；(B1)树脂，其于酸作用下，在硷显影剂中溶解度增加；及(B2)树脂，其具有至少一种选自(a)硷溶性基及(b)在硷作用下可分解产生硷溶性基之基，而且树脂(B2)不具有在酸作用下可分解之基；及一种使用它之图案形成方法。