基板处理装置及基板处理系统

摘要

课题;提供一种可抑制盖体的开闭动作所必须的装置空间的基板处理装置。;解决手段;由盖体62气密地抵接于室本体61的状态，起动昇降马达107，127，稍上昇盖体62。然后，将盖体62，沿着段差地配设于处理室60的两侧部的导轨201，202，朝水平方向进行滑动移动。将盖体62滑动至从室本体61偏离之位置为止之后，使之下降，而在下降后的位置进行旋转盖体62。