搬运机械手臂及搬运装置

摘要

本发明的搬运机械手臂2系具有彼此相对向的放热侧高辐射比部41与受热侧高辐射比部42，藉由热传导传达到台座部30的基板9的热，从放热侧高辐射比部41放出作为辐射热，该辐射热被受热侧高辐射比部42吸收。由于受热侧高辐射比部42系形成于与真空槽7热连接的基座突缘15，因此受热侧高辐射比部42所吸收的辐射热被传达到真空槽7。因而，在真空环境中搬运高温的基板9时，来自基板9的热不蓄热于搬运系统3，使搬运系统3难以升温至高温。