基板卸载装置及基板卸载方法

摘要

本发明提供基板卸载装置以及基板卸载方法，该基板卸载装置可简化基板的拆卸作业，并且，即使在基板的厚度很薄的情况下，也可以容易地进行拆卸和装载。基板拆卸装置在搬送用吊架下降的状态下，解除夹钳对基板的夹持。基板接受器在搬送用吊架沿铅直方向下降时，接收基板。透过旋转气缸的动作，使基板接受器旋转。搬送辊将旋转后的基板接受器内所收容的基板，沿水平方向从开口部进行搬送。