首页
产品
黄页
商标
征信
会员服务
注册
登录
全部
|
企业名
|
法人/股东/高管
|
品牌/产品
|
地址
|
经营范围
发明名称
图型之形成方法及使用于其之光阻材料
摘要
本发明系一种图型之形成方法,其特征系含有:将含有具7-氧杂降冰片烷环之重复单位与藉由酸成为可溶于硷显像液之重复单位的高分子化合物及酸产生剂的正型光阻材料涂布于基板上,形成光阻膜的步骤;加热处理后,以高能量线使上述光阻膜曝光的步骤;加热处理后使用显像液,将上述光阻膜进行显像的步骤;其后以酸及/或热使光阻膜产生交联硬化的步骤。;依据本发明时,依据上述方法使用光阻材料,形成图型,在第1图型之空白部分形成第2图型,藉此进行图型与图型之间距减半之双图型化,可藉由一次乾蚀刻对基板进行加工。
申请公布号
TWI400573
申请公布日期
2013.07.01
申请号
TW097105426
申请日期
2008.02.15
申请人
信越化学工业股份有限公司 日本
发明人
畠山润;吉原隆夫;金生刚;长谷川幸士;河合义夫;竹村胜也
分类号
G03F7/039;H01L21/027
主分类号
G03F7/039
代理机构
代理人
林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项
地址
日本
您可能感兴趣的专利
Verfahren zur Herstellung eines zinkhaltigen festen Katalysators und Verfahren zur Herstellung von Polyalkylencarbonat
Neue Triaminobenzolderivate und diese enthaltende Färbemittel für keratinische Fasern
Blindenstock
KICK TRAINING TOOL FOR COMPETITION EXERCISE
NOVEL POLYMER SUPPORTS FOR NUCLEIC ACID SYNTHESIS
STACKED LAYERED ABSORBENT PRODUCTS
BRAIDED BODY BALLOON CATHETER
APPARATUS AND METHOD FOR INTERLINE POWER FLOW CONTROL
ACETABULAR CUP BODY PROSTHESIS
METHOD FOR RENEWING SLIPRINGS
PROCESS FOR PRODUCING METAL-COATED MATERIALS
DEVICE FOR INTERNAL COATING OF PIPES
Verfahren zum Färben von synthetischen Fasermaterialien und gefärbte synthetische Fasermaterialien
Elektronisches Bremspedalnachstellung-Gerät und Verfahren dazu
Verfahren zum Herstellen einer Dünnschicht aus einem Oxid-Supraleiter vom Wismuth-Typ
Mehrfach belichtetes Reflexionshologramm mit erhöhter Auflösung
Industrielles Verfahren zur Trennung und Rückgewinnung von Chlor
METHOD FOR SOLUBILIZING PROTEINS IN ORGANIC SOLVENTS
Multilayer hydrodisintegratable film
Method of spraying a surface using ultrasonic radiation