发明名称 |
形成模板的方法,图案化基材的方法及用于该等方法之模板及图案化系统 |
摘要 |
本发明揭示一种图案化基材之方法。将墨水材料化学吸附至一模板之至少一区域上且将该化学吸附之墨水材料转移至一受体基材上。该墨水材料对该受体基材具有大于对该模板之该至少一区域的化学亲和力。本发明亦揭示一种形成该模板之方法,以及该模板及一种图案化系统。 |
申请公布号 |
TWI400560 |
申请公布日期 |
2013.07.01 |
申请号 |
TW097114372 |
申请日期 |
2008.04.18 |
申请人 |
美光科技公司 美国 |
发明人 |
丹B. 米尔瓦德 |
分类号 |
G03F7/00;B41C1/00;H01L21/027 |
主分类号 |
G03F7/00 |
代理机构 |
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代理人 |
陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼 |
主权项 |
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地址 |
美国 |