电容元件及其制造方法

摘要

本发明提供一种具高介电材料及多层垂直式平板电极的电容元件，系可采低温制程直接制作在一晶圆上而与该晶圆上的主动元件整合在一起，以减少该电容元件组装及制作的成本。本发明亦利用矽导孔(Through-Silicon-Via)技术于该电容元件形成垂直导线，而利于制作堆叠式电容元件，进一步提高电容。