蒸发源及成膜装置

摘要

本发明之蒸发源(20)不损及维修性，可使成膜材料(29)之利用效率提高。蒸发源(20)包含：具有复数收容空间(25S)之管状的一个周壁(25)，及将周壁(25)之内部隔开成该些复数收容空间的复数隔壁部(27)。周壁(25)中形成有每一该些收容空间(25S)至少各配置一个的复数孔(28)。复数孔(28)连通复数收容空间与外面，使收容于复数空间(25S)各自的成膜材料(29)从每一该些收容空间向外面蒸发。