新颖磺酸盐及其衍生物、光酸产生剂及利用此光酸产生剂之光阻材料与图案形成方法

摘要

本发明提供新颖磺酸盐与光酸产生剂及利用此光酸产生剂之光阻材料、空白光罩与图案形形成方法，其对光阻溶剂及树脂的溶解性(相溶性)相当高、保存稳定性良好、具有PED稳定性、焦点深度较广、感度良好，尤其可提供作为解像性及图案轮廓形状优异的化学放大型光阻材料用。;该磺酸盐系以下述通式(2)表示的磺酸盐。;R1－COOC(CF3)2－CH2SO3-M+　(2);(式中，R1表示可含有杂原子之碳数1～50之直链状、分支状或是环状的一价烃基。M+表示阳离子)。