透明导电膜成膜方法

摘要

一种透明导电膜成膜方法，是在一真空腔体内溅镀一标靶，该标靶包含一种主添加氧化物，该主添加氧化物为氧化锌，其特征在于：该标靶更具有一种副添加氧化物，该副添加氧化物具有铝之氧化物，及碳元素，该碳元素含量为50 ppm~500 ppm。本发明的功效在于：利用在该标靶之上添加有铝之氧化物，及碳元素，使该标靶的导电性提高，因而使成型之后的透明导电膜的薄膜比电阻降低，同时可提升电阻分布的均匀性。