Verfahren zum Herstellen von Stablinsen und Vorrichtung hierfür

摘要

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen von Stablinsen mit einem umhüllenden Durchmesser der Stablinsenstirnseite von bis zu 200 mm und einer Kantenlänge von mindestens 800 mm. Das Verfahren zeichnet sich dadurch aus, dass eine Fertigung eines aus einem synthetischen Quarzglasmaterial in Form eines Fused Silica Ingots bestehenden Stablinsenzylinders erfolgt. Dies geschieht unter Anwendung eines Flammenhydrolyse-Verfahrens mit einem direkten einstufigen Abscheideprozess von SiOx-Partikeln aus einem Flammenstrom auf einen rotierenden und verschiebbaren Stempel.