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Ein Verfahren der Fehlerkompensation in einem chromatischen Punktsensor (CPS) reduziert Fehler im Zusammenhang mit dem schwankenden spektralen Reflexionsvermögen von Werkstücken. Die Fehler stehen mit einer entfernungsunabhängigen Profilkomponente der CPS-Messsignale in Zusammenhang. Das spektrale Reflexionsvermögen eines Werkstücks kann anhand eines bekannten spektralen Reflexionsvermögens eines Werkstückmaterials oder durch Messen des spektralen Reflexionsvermögens des Werkstücks mithilfe des CPS-Systems charakterisiert werden. Die CPS-Messung des spektralen Reflexionsvermögens kann ein Abtasten des optischen CPS-Stifts bei einer Vielzahl von Entfernungen relativ zu einer Werkstückoberfläche und das Bestimmen eines entfernungsunabhängigen zusammengefassten Spektralprofils aus einer Vielzahl von resultierenden Wellenlängenspitzen umfassen. Durch Vergleichen des entfernungsunabhängigen zusammengefassten Spektralprofils, das von einem Werkstück erlangt wurde, mit demjenigen, das einem CPS-Entfernungskalibrierungsprozess entspricht, wird der Einfluss der Reflexionseigenschaften des Werkstücks in den Differenzen zwischen den Profilen angezeigt, und mögliche CPS-Positionsfehler, die sich aus Variationen der Reflexionseigenschaften des Werkstücks ergeben, können berechnet und/oder kompensiert werden.
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