| 摘要 |
1. Микромеханический осевой акселерометр, содержащий корпус, выполненный в виде платы, инерционную массу, выполненную в виде пластины из кремния, расположенную с зазором относительно корпуса и связанную с ним через упругие перемычки, образующие упругий подвес, обеспечивающий перемещение инерционной массы вдоль оси, лежащей в плоскости инерционной массы, электронную схему обработки сигналов, емкостной датчик выходного сигнала, содержащий подвижные электроды, расположенные на инерционной массе, и неподвижные электроды, электростатический датчик силы и анкеры, отличающийся тем, что емкостной датчик выходного сигнала выполнен в виде четырех идентичных секций, расположенных симметрично относительно центральной точки, в каждой из которых неподвижные электроды размещены на пластине из кремния, расположенной консольно с зазором относительно корпуса и имеющей форму клина, одна сторона которого отделена от корпуса прорезью, на другой стороне размещены непосредственно электроды, а основанием клина служит корпус.2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что все четыре секции емкостного датчика выходного сигнала связаны между собой электрически и включены по дифференциальной схеме. |
