MICROMIRROR

摘要

Die Erfindung betrifft einen Mikrospiegel mit einer ersten Schicht (200) mit einer ersten Haupterstreckungsebene, mit einer zweiten Schicht (300) mit einer zweiten Haupterstreckungsebene, wobei die erste Haupterstreckungsebene und die zweite Haupterstreckungsebene parallel zueinander angeordnet sind, wobei die erste Schicht (200) und die zweite Schicht (300) über wenigstens einen Verbindungsbereich (23) bereichsweise miteinander verbunden sind, wobei in der ersten Schicht (200) wenigstens ein Federelement (202) ausgebildet ist, wobei in der zweiten Schicht (300) eine beweglich aufgehängte Spiegelplatte (305) ausgebildet ist, wobei die Spiegelplatte (305) an einer ersten Seite (30) parallel zur Haupterstreckungsebene eine Spiegelfläche aufweist und an einer gegenüberliegenden zweiten Seite (20) über den Verbindungsbereich (23) mit einer Verankerung (210) des Federelements (202) verbunden ist, wobei ein Teil des Federelements (202) auf der zweiten Seite (20) der Spiegelplatte (305) beweglich gegenüber der Spiegelplatte (305) angeordnet ist. Die Erfindung betrifft auch ein 2-Spiegelsystem mit einem solchen Mikrospiegel.