发明名称 Zeichenverfahren und Zeichenvorrichtung
摘要 <p>Gespeicherte Energie wird für jeden der segmentierten Bereiche berechnet und unter Verwendung der berechneten gespeicherten Energie wird eine optimale Strahlungsmenge für einen Elektronenstrahl mit einem konjugierten Gradientenverfahren berechnet. Die berechnete gespeicherte Energie wird anstelle der Berechnung einer Determinante (Apk) im Verfahren, das die Berechnung der Determinante (Apk) umfasst, aus wiederholten Berechnungsverfahren verwendet, die dem konjugierten Gradientenverfahren folgen und versuchen, eine Lösung für simultane lineare Gleichung (Ax = b) mit einer Matrix (A) als Koeffizient zu finden. Wenn also eine optimale Strahlungsmenge für einen Elektronenstrahl durch ein wiederholtes Berechnungsverfahren gemäß dem konjugierten Gradientenverfahren durch Handhabung des Grades der Determinante (Apk) unter Verwendung der gespeicherten Energie berechnet wird, dann ist es möglich, die optimale Strahlungsmenge für einen Elektronenstrahl mit hoher Verarbeitungsgeschwindigkeit und einem hohen Grad an Genauigkeit zu berechnen, und ohne explizit die Berechnung von Apk zu erfordern, indem die riesige Matrix (A) handgehabt wird, die zahlreiche Faktoren gemäß der Reduzierung von Schaltkreisleitungen in einem Schaltkreismuster umfasst.</p>
申请公布号 DE112011103109(T5) 申请公布日期 2013.06.27
申请号 DE201111103109T 申请日期 2011.07.27
申请人 NIPPON CONTROL SYSTEM CORP. 发明人 TSUNOE, HIROYUKI;HADA, SHUJI;TSUNODA, DAI;SHOJI, MASAHIRO;SATO, AYUKO
分类号 H01L21/027;G03F7/20 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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