碳化硅化学气相外延载物台装置

摘要

本发明涉及化学气相沉积领域，具体涉及一种碳化硅化学气相外延载物台装置，该装置是分体式载物台装置，包括船型石英舟、石英托垫和石墨板。其中，船型石英舟前端为倾斜面，该倾斜面后为下凹平台面；石英托垫放置于石英舟下凹平台面上；石墨板放置于石英托垫上。本发明所述分体式载物台装置可用在水平式化学气相沉积反应室内，通过感应加热石墨板。本发明的优势在于：①沉积反应的气体流场和源物质分布均匀，气流扰动小；②对于大面积衬底，可以优化外延膜厚均匀性；③分体式设计可以降低使用成本并增加应用灵活性。

主权项

一种碳化硅化学气相沉积设备使用的分体式载物台，它包括：船型石英舟、石英托垫和石墨板；其中，所述船型石英舟前端为倾斜面，该倾斜面后设置下凹平台面；所述石英托垫放置于所述下凹平台面上；所述石墨板放置于石英托垫上。