发明名称 |
一种新型可调基片输送辊装置 |
摘要 |
本发明公开了一种新型可调基片输送辊装置,空间位置可调,能保证其刚性和可靠性,本装置设有阶梯轴,阶梯轴外围设有轴承座,轴承座为偏心结构,阶梯轴通过轴承座固定于真空腔墙体上,轴承座的安装孔的中心线与真空腔墙体的中心线偏离0.5~1mm,阶梯轴真空室内的一端的光轴段上套接有传送辊,传送辊通过传送键卡接阶梯轴,传送辊的两侧均设有一组螺母,阶梯轴的光轴段端部具有细牙螺纹,阶梯轴真空室外的一端套接有同步带轮,同步带轮通过传送键卡接阶梯轴;本发明不仅可以提高基片的镀膜质量,还可以降低焊接、加工、装配等工序要求,使设备制造成本降低,能在轴向和径向上可调,保证调整精度。 |
申请公布号 |
CN102286725B |
申请公布日期 |
2013.06.26 |
申请号 |
CN201110180430.2 |
申请日期 |
2011.06.30 |
申请人 |
东莞市华科制造工程研究院有限公司;广东志成冠军集团有限公司 |
发明人 |
邵新宇;张国军;张华书;黄禹;陈宇;刘高水;李海洲;王炳勇 |
分类号 |
C23C14/35(2006.01)I;C23C14/56(2006.01)I |
主分类号 |
C23C14/35(2006.01)I |
代理机构 |
广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 |
代理人 |
谭一兵 |
主权项 |
一种可调基片输送辊装置,其特征在于:本装置设有阶梯轴(1),所述阶梯轴(1)外围设有轴承座(2),所述轴承座(2)为偏心结构,所述阶梯轴(1)通过轴承座(2)固定于真空腔墙体(8)上,所述阶梯轴(1)真空室内一端的光轴段上套接有传送辊(3),所述光轴段设有传送键(4),所述传送辊(3)通过传送键(4)固定卡接所述阶梯轴(1),所述传送辊(3)的两侧分别设有一组螺母(5);所述阶梯轴(1)真空室外的一端套接有同步带轮(11),所述同步带轮(11)通过传送键(4)卡接阶梯轴(1),所述阶梯轴(1)和轴承座(2)之间设有第一套筒(6)和第二套筒(7),所述第一套筒(6)两侧分别设有一组相对阶梯轴(1)对称的轴承(9);所述第二套筒(7)一侧设有相对阶梯轴(1)对称的两组密封圈(10),所述第二套筒(7)的另一侧设有相对阶梯轴(1)对称的一组轴承(9)。 |
地址 |
523808 广东省东莞市松山湖科技产业园区科技九路1号 |