用于制造锭块的设备和方法

摘要

本发明关于一种用于制造锭块的设备和方法。根据本发明用于制造锭块的设备包含：坩埚，其用于容纳原材料；加热部件，其用于加热坩埚；支撑件，其用于支撑坩埚；绝热部件，其安置于加热部件的外部且与支撑件间隔开；以及可旋转的冷却部件，其安置于支撑件下方而支撑坩埚。根据本发明，旋转的冷却部件的冷却不仅传递到坩埚的下部部分，而且通过形成于绝热部件的下部部分与支撑件之间的空间传递到坩埚的侧面部分，使得熔化硅的中心和侧面部分可同时固化，进而制造具有优良晶体方向性的硅锭块。

主权项

一种用于制造锭块的设备，其包括：坩埚，其用于容纳原材料；加热部件，其用于加热所述坩埚；第一支撑件，其用于支撑所述坩埚；绝热部件，其安置于所述加热部件的外部；以及冷却部件，其安置于所述第一支撑件下方而可旋转，其中所述冷却部件包括：至少一个冷却线路；以及冷却绝缘部件和冷却传递部件，其彼此耦合以包围所述冷却线路，其中所述冷却线路具有桶形状，且所述冷却绝缘部件和所述冷却传递部件具有半桶形状，当熔化所述原材料时所述冷却绝缘部件安置于所述冷却线路的上方，且当固化所述原材料时所述冷却传递部件逐渐旋转以安置于所述冷却线路的上方。