冷壁流化床及其应用

摘要

本发明涉及一种冷壁流化床及其应用，属于多晶硅制备技术领域。其提供一种以改进的冷壁流化床，及以其为设备，用三氯氢硅（SiHCl3）和H2为原料，在冷壁流化床内，高温加压下发生还原反应，制备高纯度颗粒状太阳能级多晶硅。本发明以此冷壁流化床为基础，制备高纯度颗粒状太阳能级多晶硅，其生产过程简单方便，适于工业化生产。

主权项

一种冷壁流化床，包括流化床（9），流化床（9）下端设置有一个气体混合器（3），所述气体混合器（3）于出料管道连接，出料管道上依次设置有第二原料进气口（2）和第一原料进气口（1）；其中第一原料进气口（1）的下端还设置有一个出口阀门（18），出口阀门（18）的下方为出口（19）；所述流化床（9）上端设置有加料管（13）和旋风分离器（11）；旋风分离器（11）上端为尾气出口（12）；其特征是：所述流化床（9）于气体混合器（3）之间还设置有一流化床分布板（17），流化床分布板（17）通过两个电极（16）与内置加热器（8）相连接；所述内置加热器（8）位于流化床（9）内部；所述流化床（9）的外壁（7）上还包覆有冷却夹套（14）。