基于位相光栅分光的双焦波带片干涉显微检测装置

摘要

本发明公开了一种基于位相光栅分光的双焦波带片干涉显微检测装置，包括13.5nm极紫外光源、真空室、真空抽气泵、气浮光学隔振平台、极紫外CCD、五维精密微调整台、五维精密微调整台控制器、基于位相光栅分光的双焦波带片干涉显微光学组件；本发明结构简单，抗振性好，精度高，系统成本低。

主权项

一种基于位相光栅分光的双焦波带片干涉显微检测装置,其特征在于：包括13.5nm极紫外光源（1）、极紫外CCD（5）、五维精密微调整台（6）、五维精密微调整台控制器（7）、真空室（8）、真空抽气泵（9）、气浮光学隔振平台（11）、基于位相光栅分光的双焦波带片干涉显微光学组件；真空室（8）设置在气浮光学隔振平台（11）上；五维精密微调整台（6）设置在真空室（8）内的底板上；五维精密微调整台控制器（7）设置在真空室（8）外部的侧面；真空抽气泵（9）设置在真空室（8）的底部，且与真空室（8）相连通；基于位相光栅分光的双焦波带片干涉显微光学组件设置在真空室（8）内，位于五维精密微调整台（6）上方；13.5nm极紫外光源（1）和极紫外CCD（5）设置在真空室（8）的顶部，且在位置上保证13.5nm极紫外光源（1）的出射光光轴与基于位相光栅分光的双焦波带片干涉显微光学组件的入射光光轴相重合，极紫外CCD（5）的入射光光轴与基于位相光栅分光的双焦波带片干涉显微光学组件的出射光光轴相重合；基于位相光栅分光的双焦波带片干涉显微光学组件包括：位相光栅（2）和双焦波带片显微物镜（3），位相光栅（2）和双焦波带片显微物镜（3）均由夹持器固定于真空室（8）的内壁；经过准直的13.5nm极紫外光源（1）入射到位相光栅（2）上，经过位相光栅（2）的衍射分光，0级衍射光（12）入射到水平设置的双焦波带片显微物镜（3）上，其他级次的衍射光偏出光路，经双焦波带片显微物镜（3）的反射，0级衍射光（12）转变为焦点位于无穷远的平行光（14）和焦点位于有限远的会聚光（13），平行光（14）作为参考光入射到掩模样品（4），会聚光（13）作为测试光聚焦于掩模样品（4），参考光和测试光经掩模样品（4）反射回双焦波带片显微物镜（3）上，双焦波带片显微物镜（3）将携带有缺陷信息的测试光转变回平行光，而参考光仍为平行光，两束平行光间产生干涉，干涉光入射到位相光栅（2）上并且经位相光栅（2）衍射分光，取+1级衍射光（15）为成像光束入射到极紫外CCD(5)上，将极紫外CCD（5）探测到的干涉图输入计算机（10），通过相位恢复算法处理干涉图，解算出掩模样品（4）中的缺陷信息。