一种基于ZCTC压电晶体的声表面波气体传感器

摘要

本实用新型公开了一种基于ZCTC压电晶体的声表面波气体传感器，包括压电基片、输入叉指换能器、输出叉指换能器、敏感薄膜、吸声电极，其特征在于，所述压电基片为ZCTC压电晶体，所述输入叉指换能器、输出叉指换能器、吸声电极是在压电基片上制备AL膜，再将AL膜制成叉指换能器IDT电极和吸声电极；其中叉指对数26对，叉指电极宽度0.4µm，叉指间距0.4µm，厚度40nm，吸声电极厚度为50nm。本实用新型具有精度高、分辨率高、灵敏度高、温度稳定性高、机电耦合系数高的特点。

主权项

一种基于ZCTC压电晶体的声表面波气体传感器，包括压电基片、输入叉指换能器、输出叉指换能器、敏感薄膜、吸声电极，其特征在于，所述压电基片为ZCTC压电晶体，所述输入叉指换能器、输出叉指换能器、吸声电极是在压电基片上制备AL膜，再将AL膜制成叉指换能器IDT电极和吸声电极；其中叉指对数26对，叉指电极宽度0.4µm，叉指间距0.4µm，厚度40nm，吸声电极厚度为50nm。