基于嵌入式双芯PCF的MEMS多普勒测速装置

摘要

本实用新型涉及一种基于嵌入式双芯PCF的MEMS多普勒测速装置。包括激光光源、激光驱动器、精密光纤耦合器、第一传输光纤、第一光纤适配器、双芯光子晶体光纤、MEMS芯片、多模光纤、第二光纤适配器、第二传输光纤、光纤耦合器、透镜、CCD检测元件、光电探测器、图像采集卡、数据采集卡和计算机；本实用新型提出采用嵌入式双芯光子晶体光纤实现MEMS微通道内微粒速度的测量，并且把双芯光子晶体光纤嵌入到MEMS芯片中，去掉装置不稳定和背景光的干扰。由于光纤出射端面光束的发散角较大，因此可以获得较大的干涉控制体的体积，使测量区域获得放大，提高测量空间范围。

主权项

基于嵌入式双芯PCF的MEMS多普勒测速装置，包括激光光源、激光驱动器、精密光纤耦合器、第一传输光纤、第一光纤适配器、双芯光子晶体光纤、MEMS芯片、多模光纤、第二光纤适配器、第二传输光纤、光纤耦合器、透镜、CCD检测元件、光电探测器、图像采集卡、数据采集卡和计算机，其特征在于：激光光源在激光驱动器的作用下发出的光依次经过精密光纤耦合器、第一传输光纤、第一光纤适配器进入双芯光子晶体光纤；双芯光子晶体光纤嵌入在MEMS芯片中，双芯光子晶体光纤的出射端面与MEMS芯片中微通道壁面平齐；多模光纤布置在双芯光子晶体光纤的微通道同侧，用于接收微粒后向散射光；多模光纤与双芯光子晶体光纤固定在一起，多模光纤入射端面与双芯光子晶体光纤出射端面保持平齐；从多模光纤接收到的光经过第二光纤适配器、第二传输光纤和光纤耦合器分为两路等强度的光；一路通过透镜后进入CCD检测元件和图像采集卡，图像采集卡连接至计算机；另一路通过光电探测器和数据采集卡，数据采集卡连接至计算机。