一种投影物镜柔性机构调平装置

摘要

本发明是一种投影物镜柔性机构调平装置，所述装置由物镜托架板和相互独立、结构相同的三组柔性铰链结构组成；物镜托架板为台阶结构，台阶结构上具有台阶面，三组柔性铰链结构分别以等间距分布在物镜托架板的上表面上，并通过固定螺钉分别将每个柔性铰链结构固定在物镜托架板上，物镜安放在物镜托架板的台阶面上，载片台位于物镜的正下方，硅片放在载片台上，分别通过三个柔性铰链结构对物镜托架板的微动调平调整，实现对物镜的三点调平，以保证物镜的光轴与硅片表面垂直，并保证物镜的理想像平面与理想的硅片的上表面重合。本发明用于光刻机中，调整后物镜具有良好的刚性和热稳定性，以保证像质和焦面稳定，提高成像质量。

主权项

一种投影物镜柔性机构调平装置，其特征在于：所述装置由物镜托架板和相互独立、结构相同的三组柔性铰链结构组成；物镜托架板为台阶结构，台阶结构上具有台阶面，三组柔性铰链结构分别以等间距分布在物镜托架板的上表面上，并通过固定螺钉分别将每个柔性铰链结构固定在物镜托架板上，物镜安放在物镜托架板的台阶面上，载片台位于物镜的正下方，硅片放在载片台上，分别通过三个柔性铰链结构对物镜托架板的微动调平调整，实现对物镜的三点调平，以保证物镜的光轴与硅片表面垂直，并保证物镜的理想像平面与理想的硅片的上表面重合。