压阻式高频动态土应力传感器及制备方法

摘要

本发明公开了一种压阻式高频动态土应力传感器及制备方法，传感器包括传感器壳体（7）、应力敏感组件、信号调理放大电路（11）和引出电缆（13），所述应力敏感组件包括基底（1）—绝缘隔离层（2）—应变电阻（3）—绝缘保护层（5）构成的结构；且所述应力敏感组件通过高硼硅玻璃（6）封接于传感器壳体（7）前端的固支台阶（18）。本发明的传感器敏感组件集成有应变电阻（3）和调整电阻（19），有效减小体积，简化了加工工艺，降低制作成本，容易实现大批量生产，提高了产品性价比和市场竞争力。

主权项

压阻式高频动态土应力传感器，包括传感器壳体（7）、应力敏感组件、信号调理放大电路（11）和引出电缆（13），其特征在于，所述应力敏感组件包括基底（1）—绝缘隔离层（2）—应变电阻（3）—绝缘保护层（5）构成的结构；且所述应力敏感组件通过高硼硅玻璃（6）封接于传感器壳体（7）前端的固支台阶（18）。