| 发明名称 | 蓝宝石衬底材料的退火工艺 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种标准化的蓝宝石衬底材料的退火工艺。包括以下步骤：A将蓝宝石衬底材料放入电加热炉；B第一次升温：电加热炉升温至300℃~500℃，恒温10~60分钟；C第二次升温：电加热炉升温至700℃~900℃，恒温10~60分钟；D第三次升温：电加热炉升温至960℃~1550℃，恒温60~240分钟；E第一次降温：电加热炉降温至700℃~900℃，恒温10~60分钟；F第二次降温：电加热炉降温至300℃~500℃，恒温10~60分钟；G第三次降温：关闭电加热炉，使其自然冷却。采用本发明提供的技术方案，能生产出符合行业标准的蓝宝石衬底材料，且大幅提高成品率。 | ||
| 申请公布号 | CN103177972A | 申请公布日期 | 2013.06.26 |
| 申请号 | CN201110432004.3 | 申请日期 | 2011.12.21 |
| 申请人 | 张卫兴 | 发明人 | 张卫兴 |
| 分类号 | H01L21/477(2006.01)I;H01L33/00(2010.01)I | 主分类号 | H01L21/477(2006.01)I |
| 代理机构 | 南京众联专利代理有限公司 32206 | 代理人 | 顾进 |
| 主权项 | 一种蓝宝石衬底材料的退火工艺，包括以下步骤： A将蓝宝石衬底材料放入电加热炉；B第一次升温：电加热炉升温至300℃~500℃，恒温10~60分钟；C第二次升温：电加热炉升温至700℃~900℃，恒温10~60分钟；D第三次升温：电加热炉升温至960℃~1550℃，恒温60~240分钟；E第一次降温：电加热炉降温至700℃~900℃，恒温10~60分钟；F第二次降温：电加热炉降温至300℃~500℃，恒温10~60分钟；G第三次降温：关闭电加热炉，使其自然冷却。 | ||
| 地址 | 210003 江苏省南京市南瑞路紫竹苑1-2号 | ||