一种自带减震功能的超高真空低温杜瓦

摘要

本发明公开了一种自带减震功能的超高真空低温杜瓦，包括：液氮杜瓦、液氦杜瓦和外筒，液氮杜瓦套设安装在外筒内，液氦杜瓦通过一减震机构套设安装在液氮杜瓦内。本发明采用减震机构连接液氦杜瓦和液氮杜瓦，能够起到很好的减震作用，从而提高了系统的稳定性。此外，本发明减震机构采用采用波纹管和橡皮垫隔离的设置方式来连接液氮杜瓦和液氦杜瓦，这样，外界以及液氮杜瓦蒸发冒泡的噪声不会传递到液氦杜瓦，以及液氦杜瓦连接的扫描隧道显微镜上。因此，本发明能最大限度适用于制作超高真空低温扫描隧道显微镜，以及其他对低震动要求很高的仪器设备。

主权项

一种自带减震功能的超高真空低温杜瓦，其特征在于，包括：液氮杜瓦、液氦杜瓦和外筒，液氮杜瓦套设安装在外筒内，液氦杜瓦通过一减震机构套设安装在液氮杜瓦内。