晶舟

摘要

本实用新型公开了一种晶舟，包括若干支撑杆和两端板，所述若干支撑杆平行设置并分布于同一圆周上，所述若干支撑杆的两端分别通过所述两端板连接，所述若干支撑杆的内侧对应设有用于支撑晶圆的托板，所述托板的支撑面向下倾斜。本实用新型提供的晶舟，通过将所述托板的支撑面向下倾斜，可以将原先晶圆和托板之间的面积触改成点线接触，可以减少晶圆和托板之间的接触面积，进而减少颗粒物质产生。此外，通过将现有的四根支撑杆改成三根支撑杆，采用三块托板对晶圆进行支撑，由于三点确定一个平面，从而可以使得晶圆得到更加平稳的支撑，进一步减少晶圆发生震动的可能性，从而减少颗粒物质产生，提高产品良率。

主权项

一种晶舟，其特征在于，包括若干支撑杆和两端板，所述若干支撑杆平行设置并分布于同一圆周上，所述若干支撑杆的两端分别通过所述两端板连接，所述若干支撑杆的内侧对应设有用于支撑晶圆的托板，所述托板的支撑面向下倾斜。