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发明名称
摘要
申请公布号	JP5220970(B2)	申请公布日期	2013.06.26
申请号	JP20010065614	申请日期	2001.03.08
申请人		发明人
分类号	H01L21/336;H01L21/265;H01L29/78	主分类号	H01L21/336
代理机构		代理人
主权项
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