激光诱导击穿光谱分析系统及其方法

摘要

本发明提供了一种激光诱导击穿光谱分析系统，激光诱导击穿光谱分析系统，包括控制单元、脉冲激光器和沿脉冲激光出射方向依次设置的分束器、可移动定位平台、光谱收集单元、光谱仪以及数据处理系统，分束器将脉冲激光器的出射光脉冲分出主光路和采样光路，在主光路上设置有激光扩束准直及聚焦光学系统、与所述可移动定位平台构成反馈控制的样品定位单元，在采样光路上设置有脉冲激光能量测量模块、脉冲触发延迟单元，控制单元具有多路控制信号输出，各控制信号输出端分别对应接至样品定位单元，光谱仪的数据输出端连接至数据处理系统。

主权项

激光诱导击穿光谱分析系统，其特征在于：包括控制单元、脉冲激光器和沿脉冲激光出射方向依次设置的分束器、用以放置待测样品的可移动定位平台、光谱收集单元、光谱仪以及数据处理系统；所述分束器将脉冲激光器的出射光脉冲按照设定的能量分配比例分出主光路和采样光路，在主光路上依次设置有激光扩束准直及聚焦光学系统、与所述可移动定位平台构成反馈控制的样品定位单元，在采样光路上分别设置有脉冲激光能量测量模块、脉冲触发控制单元，其中，脉冲激光能量测量模块的信号输出端连接至控制单元的第一输入端，脉冲触发延迟单元依次通过触发信号产生单元、延迟控制电路方波信号输出连接至控制单元的第二输入端，所述双光束样品定位单元的信号输出端连接至控制单元的第三输入端；控制单元具有多路控制信号输出，各控制信号输出端分别对应接至样品定位单元、可移动定位平台、光谱仪；光谱仪的数据输出端连接至数据处理系统。