| 发明名称 | 多晶硅 | ||
| 摘要 | 本发明提供了多晶硅，所述多晶硅具有以下掺杂剂浓度：1-10ppta的硼、1-20ppta的磷、1-10ppta的砷、0.01-1ppta的铝，并且具有至少2000且至多4500μs的载流子寿命。 | ||
| 申请公布号 | CN103172069A | 申请公布日期 | 2013.06.26 |
| 申请号 | CN201210563223.X | 申请日期 | 2012.12.21 |
| 申请人 | 瓦克化学股份公司 | 发明人 | 罗伯特·鲍曼;罗伯特·赫尔茨尔;米夏埃尔·魏克塞尔加特纳 |
| 分类号 | C01B33/035(2006.01)I | 主分类号 | C01B33/035(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人 | 李丙林;张英 |
| 主权项 | 多晶硅，具有以下掺杂剂浓度：1‑10ppta的硼，1‑20ppta的磷，1‑10ppta的砷，和0.01‑1ppta的铝，并且具有至少2000μs且至多4500μs的载流子寿命。 | ||
| 地址 | 德国慕尼黑 | ||