两自由度柔性微角位移压电作动平台

摘要

两自由度柔性微角位移压电作动平台，包括置于带有双轴柔性铰链的微角摆平台和底座间的第一柔性位移放大机构、第二柔性位移放大机构、第三柔性位移放大机构和第四柔性位移放大机构，第一柔性位移放大机构和第二柔性位移放大机构相对布置具有相同的形状和尺寸，组成第一作动器组，第三柔性位移放大机构和第四柔性位移放大机构相对布置且具有相同的形状和尺寸，且与第一柔性位移放大机构和第二柔性位移放大机构垂直交错分布，组成第二作动器组，在第一柔性位移放大机构、第二柔性位移放大机构、第三柔性位移放大机构和第四柔性位移放大机构内分别装有第一压电堆、第二压电堆、第三压电堆和第四压电堆；本发明在具有高角分辨率的同时，还具备响应速度快，体积小，重量轻的特点。

主权项

一种两自由度柔性微角位移压电作动平台，包括底座（2）以及通过刚性支撑（4）固定连接连于底座（2）上的带有双轴柔性铰链（3）的微角摆平台（1），其特征在于：还包括分布于微角摆平台（1）和底座（2）间的与微角摆平台（1）下表面相接触并固连于底座（2）上的第一柔性位移放大机构（5）、第二柔性位移放大机构（6）、第三柔性位移放大机构（7）和第四柔性位移放大机构（8），所述第一柔性位移放大机构（5）和第二柔性位移放大机构（6）相对布置并具有相同的形状和尺寸，组成第一作动器组（13），所述第三柔性位移放大机构（7）和第四柔性位移放大机构（8）也相对布置并具有相同的形状和尺寸，且与第一柔性位移放大机构（5）和第二柔性位移放大机构（6）垂直交错分布，第三柔性位移放大机构（7）和第四柔性位移放大机构（8）组成第二作动器组（14），第一作动器组（13）和第二作动器组（14）的工作面相互垂直，在所述第一柔性位移放大机构（5）、第二柔性位移放大机构（6）、第三柔性位移放大机构（7）和第四柔性位移放大机构（8）内部分别安装有第一压电堆（9）、第二压电堆（10）、第三压电堆（11）和第四压电堆（12）。