发明名称 |
加热装置 |
摘要 |
本发明涉及一种加热装置(11A),其包括具有加热半导体的加热面(12a)的基座(12A)。基座(12A)包括板状主体部(13)和面向加热面的表面耐腐蚀层(14)。表面耐腐蚀层(14)由以镁、铝、氧以及氮为主成分的陶瓷材料构成,该陶瓷材料以氮氧化铝镁相为主相,且使用CuKα线时的XRD波峰至少出现在2θ=47~50°。 |
申请公布号 |
CN103180267A |
申请公布日期 |
2013.06.26 |
申请号 |
CN201180051175.X |
申请日期 |
2011.10.11 |
申请人 |
日本碍子株式会社 |
发明人 |
近藤畅之;渡边守道;神藤明日美;胜田祐司;佐藤洋介;矶田佳范 |
分类号 |
C04B35/581(2006.01)I;C04B35/04(2006.01)I;H01L21/3065(2006.01)I;H01L21/31(2006.01)I |
主分类号 |
C04B35/581(2006.01)I |
代理机构 |
上海市华诚律师事务所 31210 |
代理人 |
徐晓静 |
主权项 |
一种加热装置,其包括具有加热半导体的加热面的基座,所述加热装置的特征在于,所述基座包括板状主体部与面向所述加热面的表面耐腐蚀层,所述表面耐腐蚀层由以镁、铝、氧以及氮为主成分的陶瓷材料构成,该陶瓷材料以氮氧化铝镁相为主相,且使用CuKα线时的XRD波峰至少出现在2θ=47~50°。 |
地址 |
日本国爱知县名古屋市瑞穗区须田町2番56号 |