集成光栅电光效应的微光学加速度传感器及其检测方法

摘要

本发明公开了一种集成光栅电光效应的微光学加速度传感器，包括外壳，外壳内设有沿光路依次布置的光源、光栅和MEMS传感机构，所述MEMS传感机构包括质量块和连接所述质量块的悬臂梁，所述质量块朝向光栅的一面为光反射面，还设有用于检测干涉光束光强的光电探测器，所述的干涉光束为被光栅反射的光束和被光反射面反射的光束发生干涉形成；所述光栅和MEMS传感机构之间设有用于对所述光反射面出射光束进行位相调制的电光晶体，还设有用于驱动所述电光晶体产生电光效应的电压驱动模块，以及根据所述光电探测器的信号得到相应的加速度的信号处理模块。本发明还公开了利用上述微光学加速度传感器的检测方法。

主权项

一种集成光栅电光效应的微光学加速度传感器，包括外壳，外壳内设有沿光路依次布置的光源、光栅和MEMS传感机构，所述MEMS传感机构包括质量块和连接所述质量块的悬臂梁，所述质量块朝向光栅的一面为光反射面，还设有用于检测干涉光束光强的光电探测器，所述的干涉光束为被光栅反射的光束和被光反射面反射的光束发生干涉形成；其特征在于，所述光栅和MEMS传感机构之间设有用于对所述光反射面出射光束进行位相调制的电光晶体，还设有用于驱动所述电光晶体产生电光效应的电压驱动模块，以及根据所述光电探测器的信号得到相应的加速度的信号处理模块。