具有温度自补偿抗振动干扰的高精度MEMS无线倾角传感器

摘要

本实用新型涉及一种具有温度自补偿抗振动干扰的高精度MEMS无线倾角传感器，通过无线网络传输数据，充分结合微机械系统(MEMS)和无线传感器网络(WSN)两种技术，实现传感器体积小、重量轻、功耗低、可靠性高、灵敏度高和便于安装的优点。包括电源模块、稳压模块、MEMS倾角传感模块、温度传感器、微处理器、A/D转换模块和无线收发模块。传感器完成温度补偿、滤波和抗干扰处理的功能，使其达到高精度的测量要求，并用无线网络进行数据传输。

主权项

一种具有温度自补偿抗振动干扰的高精度MEMS无线倾角传感器，其特征在于包括电源模块(1)、稳压模块(2)、MEMS倾角传感模块(3)、温度传感器(4)、微处理器(5)、A/D转换模块(6)和无线收发模块(7)，其中：稳压模块(2)的输出端连接MEMS倾角传感模块(3)的输入端，MEMS倾角传感模块(3)的输出端连接A/D转换模块(6)的输入端，A/D转换模块(6)的输出端连接微处理器(5)，温度传感器(4)的输出端连接微处理器(5)，微处理器(5)与无线收发模块(7)双向连接；稳压模块(2)、温度传感器(4)、微处理器(5)、A/D转换模块(6)、无线收发模块7分别连接电源模块(1)。