用于溅射靶制造的圆形凹槽挤压机构和方法

摘要

一种利用圆形凹槽挤压制造金属靶坯件(1)的方法，包括在第一圆形凹槽挤压模具组(20A，20B)中将金属或金属合金靶坯件(1)挤压为第一同心褶皱形状，同时保持所述靶坯件(1)的初始直径以在所述靶坯件(1)中产生剪切变形的同心环。然后，通过平的模具组(30A，30B)向所述同心褶皱靶坯件(1)施加足够的力以大致变平所述靶坯件，同时保持所述靶坯件(1)的初始直径以将所述靶坯件(1)恢复为大致平的状态。在第二圆形凹槽模具组(40A，40B)中挤压所述靶坯件(1)为第二同心褶皱形状，同时保持所述靶坯件(1)的初始直径，其中，所述第二模具组(40A，40B)具有从所述第一模具组(20A，20B)的凹槽图案偏置的凹槽图案，从而在所述靶坯件的之前未变形的区域中产生剪切变形的同心环。通过平的模具组(30A，30B)再次向所述同心褶皱靶坯件(1)施加足够的力以大致变平所述靶坯件(1)，同时保持所述靶坯件(1)的初始直径以将所述靶坯件恢复为大致平的状态。

主权项

一种利用圆形凹槽挤压制造金属靶坯件的方法，包括如下步骤：a.在第一圆形凹槽挤压模具组中将金属或金属合金靶坯件挤压为第一同心褶皱形状，同时保持所述靶坯件的初始直径以在所述靶坯件中产生剪切变形的同心环；b.通过平的模具组向所述同心褶皱靶坯件施加足够的力以大致使所述靶坯件变平，同时保持所述靶坯件的初始直径以将所述靶坯件恢复为大致平的状态；c.在第二圆形凹槽模具组中挤压所述靶坯件为第二同心褶皱形状，同时保持所述靶坯件的初始直径，其中，所述第二模具组具有从所述第一模具组的凹槽图案偏置的凹槽图案，从而在所述靶坯件的在步骤a)中未变形的区域中产生剪切变形的同心环；和d.通过平的模具组向所述同心褶皱靶坯件施加足够的力以大致使所述靶坯件变平，同时保持所述靶坯件的初始直径以将所述靶坯件恢复为大致平的状态。