发明名称 |
一种在重新粘合过程中防止待测芯片损伤的方法 |
摘要 |
一种在重新粘合过程中防止待测芯片损伤的方法,包括以下步骤:对待测芯片进行解封装,以露出所述待测芯片上的焊接球;在所述待测芯片表面均匀形成一层粘合剂,所述粘合剂的高度高于所述焊接球的高度;研磨所述粘合剂和所述焊接球,直至达到所述焊接球直径最大处的高度;将一金属引线的一端焊接在所述焊接球上,另一端焊接在一金属条上。本发明在对待测芯片进行检测过程中运用重新粘合技术时,在金属引线焊接所述焊接球之前,在所述待测芯片表面,即所述待测芯片焊接球表面即周围均匀形成一层粘合剂,并研磨所述粘合剂和所述焊接球,以露出焊接球,从而在后续用以焊接的金属引线焊接所述焊接球时,有效防止所述待测试芯片表面受到损坏。 |
申请公布号 |
CN102403242B |
申请公布日期 |
2013.06.26 |
申请号 |
CN201010285770.7 |
申请日期 |
2010.09.17 |
申请人 |
中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
发明人 |
韩耀梅;陈险峰 |
分类号 |
H01L21/60(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/60(2006.01)I |
代理机构 |
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 |
代理人 |
屈蘅;李时云 |
主权项 |
一种在重新粘合过程中防止待测芯片损伤的方法,其特征在于,包括以下步骤:对待测芯片进行解封装,以露出所述待测芯片上的焊接球;在所述待测芯片表面均匀形成一层粘合剂,所述粘合剂的高度高于所述焊接球的高度;研磨所述粘合剂和所述焊接球,直至露出所述焊接球;将一金属引线的一端焊接在所述焊接球上,另一端焊接在一金属条上。 |
地址 |
201203 上海市张江路18号 |