发明名称 |
SiC双极结型晶体管的制造方法及其SiC双极结型晶体管 |
摘要 |
本发明提供了一种碳化硅(SiC)双极结型晶体管(BJT)的制造方法和SiC BJT(200)。所述SiC BJT包括发射极区(236)、基极区(234)和集电极区(232)。所述集电极区被置于具有约4度以下离轴方向的衬底(210)上。进一步,缺陷终止层(DTL,220)被置于所述衬底与所述集电极区之间。DTL的厚度和掺杂度被配置为,终止DTL中的基面位错并减少缺陷从DTL到集电极区的生长。本发明的优点在于,提高了SiC BJT的稳定性。进一步,还提供了SiC BJT的退化性能的评估方法。 |
申请公布号 |
CN103180956A |
申请公布日期 |
2013.06.26 |
申请号 |
CN201180051393.3 |
申请日期 |
2011.10.21 |
申请人 |
飞兆半导体公司 |
发明人 |
安德烈·康斯坦丁诺夫 |
分类号 |
H01L29/732(2006.01)I;H01L21/04(2006.01)I;H01L29/32(2006.01)I;H01L29/16(2006.01)I;H01L29/04(2006.01)I |
主分类号 |
H01L29/732(2006.01)I |
代理机构 |
北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 |
代理人 |
余刚;吴孟秋 |
主权项 |
一种碳化硅(SiC)双极结型晶体管(100)的制造方法,包括以下步骤:在具有约4度以下离轴方向的衬底(110)上设置集电极区(130);以及设置缺陷终止层DTL(120),所述DTL置于所述衬底和所述集电极区之间;其中,所述DTL的厚度和掺杂度被选择为终止所述DTL中的基面位错并减少缺陷从所述DTL到所述集电极区的生长,所述DTL的掺杂度包括在约3X1018cm‑3至2X1019cm‑3的范围内。 |
地址 |
美国加利福尼亚州 |