铜锌锡硫陶瓷靶材及其真空热压制备方法

摘要

本发明涉及一种铜锌锡硫陶瓷靶材及其真空热压制备方法，包括将硫化铜、硫化锌、硫化锡粉按照摩尔比2∶1∶1配料，预压制坯；热压炉抽真空至10-1～10-2Pa，以5～20℃/min的升温速度升温到800～1400℃，升温过程中不断轴向加压，加压到10～30Mpa，升到指定温度和压力后，保温保压2～15小时后，降温，降到500～1200℃，泄压至常压；冷却至室温，得到靶材坯料；进行机械加工和电加工，然后清洗、烘干，得到高纯高单相含量铜锌锡硫陶瓷靶材。本发明所得靶材致密度达到96％以上，铜锌锡硫化合物相含量达到90wt％以上，靶材的杂质含量低，靶材质量满足磁控溅射制备铜锌锡硫薄膜的要求，生产成本低，适合大尺寸铜锌锡硫陶瓷靶材工业化生产。

主权项

一种铜锌锡硫陶瓷靶材，其特征在于：由四元化合物Cu2ZnSnS4组成，所述的陶瓷靶材中Cu2ZnSnS4单相含量高于90wt.％。