热阴极用熔融热子组件的制备方法

摘要

本发明公开了一种热阴极用熔融热子组件的制备方法，涉及微波器件技术，用于热阴极熔融热子组件的制备，是采用高温真空烧结技术将热子与绝缘材料烧结在一起，提高熔融热子组件成品率、致密性能、抗冲击性能。本发明方法简单易行，制备的熔融热子组件，不仅具有无氧化、无气泡、表面质量好、变形微小、致密、成品率高的优点，而且具有抗冲击性能好、综合力学性能强等优点。

主权项

一种热阴极用熔融热子组件的制备方法，其特征在于，采用高温真空烧结技术将热子与绝缘材料烧结在一起，用于热阴极的熔融热子组件制备，包括步骤：(1)按照设计图纸将钨或钨合金丝绕制成所需形状；(2)将绕好的热子用10‑30％NaOH水溶液煮沸，用超声波清洗机进行清洗；(3)将洗净的热子放入定形磨具，再放入氢炉加热到1300‑1500℃，维持10‑20分钟后断电冷却到室温后取出；(4)将定形好的热子放入清洗干净的钼盘内；(5)将绝缘材料放入钼盘内压实；(6)将填充好绝缘材料的热子和钼盘放入真空炉中，抽真空排气至5X10‑2Pa以上，然后加热升到绝缘材料熔点，维持1‑10分钟，断电冷却到室温后取出；(7)将烧结好的热子组件放入烧杯中，加入溶钼剂溶去钼盘，然后用自来水冲洗干净，加入10‑30％NaOH水溶液，在电炉上煮沸，再用自来水冲洗干净后，用蒸馏水煮三遍，经无水乙醇脱水后用电吹风吹干；(8)将清洗好的热子组件送入高温氢气炉中净化处理，1500‑1700℃保温10‑20分钟后，断加热、冷却，得成品。