激光加工装置

摘要

本发明提供一种激光加工装置，其具有对由激光光线振荡器振荡发出的激光光线的照射位置的偏移进行修正的功能。该激光加工装置具有卡盘工作台、激光光线照射构件和加工进给构件，激光光线照射构件具有：激光光线振荡器，其振荡发出激光光线；聚光器，其具有将激光光线聚光并照射到被加工物的聚光透镜；光路调整构件，其配设在激光光线振荡器与聚光器之间，用于调整激光光线的光路；反射镜，其将激光光线朝聚光器反射；检测光聚光透镜，其将少量透过反射镜的检测光线聚光；摄像构件，其对检测光线的聚光光斑摄像；和控制构件，其求出检测光线的聚光光斑相对于适当位置的偏移量和方向，根据偏移量和方向控制光路调整构件以将聚光光斑定位在适当位置。

主权项

一种激光加工装置，所述激光加工装置具有：卡盘工作台，所述卡盘工作台用于保持被加工物；激光光线照射构件，所述激光光线照射构件用于对被保持在所述卡盘工作台的被加工物照射激光光线；和加工进给构件，所述加工进给构件用于使所述卡盘工作台和所述激光光线照射构件沿加工进给方向相对移动，所述激光加工装置的特征在于，所述激光光线照射构件具有：激光光线振荡器，所述激光光线振荡器用于振荡发出激光光线；聚光器，所述聚光器具有聚光透镜，所述聚光透镜用于将由所述激光光线振荡器振荡发出的激光光线聚光并照射到被保持在所述卡盘工作台的被加工物；光路调整构件，所述光路调整构件配设在所述激光光线振荡器与所述聚光器之间，用于调整由所述激光光线振荡器振荡发出的激光光线的光路；反射镜，所述反射镜用于将由所述光路调整构件调整光路后的激光光线朝向所述聚光器反射；检测光聚光透镜，所述检测光聚光透镜用于将少量透过所述反射镜的检测光线聚光；摄像构件，所述摄像构件用于对由所述检测光聚光透镜聚光后的检测光线的聚光光斑进行摄像；和控制构件，所述控制构件用于求出由所述摄像构件摄像得到的检测光线的聚光光斑相对于适当位置的偏移量和方向，并根据所述偏移量和方向控制所述光路调整构件以将由所述检测光聚光透镜聚光后的检测光线的聚光光斑定位在适当位置。