发明名称 |
钙钛矿型氧化物膜及使用该氧化物膜的铁电体膜、铁电体器件和制造钙钛矿型氧化物膜的方法 |
摘要 |
本发明在于提供一种压电器件,所述器件具有优异的信号传送和接收能力,并适于用作压电传动装置、传感器、超声波传感器或发电器件。一种在衬底(10)上形成的钙钛矿型氧化物膜(1),所述钙钛矿型氧化物膜(1)具有5μm以上的平均膜厚,并且其特征在于包含由通式(P)表示的钙钛矿型氧化物:(K1-w-x,Aw,Bx)(Nb1-y-z,Cy,Dz)O3,其中:0<w<1.0、0≤x≤0.2、0≤y<1.0、0≤z≤0.2、0<w+x<1.0,A为K以外的离子价为1的A位元素,B为A位元素,C为离子价为5的B位元素,D为B位元素,A~D各自为一种或多种金属元素。 |
申请公布号 |
CN103180249A |
申请公布日期 |
2013.06.26 |
申请号 |
CN201180051371.7 |
申请日期 |
2011.10.20 |
申请人 |
富士胶片株式会社;国立大学法人东京工业大学 |
发明人 |
坂下幸雄;舟洼浩;黑泽实;石河睦生;荣西弘;白石贵久 |
分类号 |
C01G33/00(2006.01)I;C04B35/00(2006.01)I;C23C26/00(2006.01)I;H01L41/187(2006.01)I;H01L41/39(2013.01)I |
主分类号 |
C01G33/00(2006.01)I |
代理机构 |
北京三友知识产权代理有限公司 11127 |
代理人 |
庞东成;解延雷 |
主权项 |
一种钙钛矿型氧化物膜,所述膜形成在衬底上,其中,所述膜具有不小于5μm的平均膜厚并包含由以下给出的通式(P)表示的钙钛矿型氧化物:(K1‑w‑x,Aw,Bx)(Nb1‑y‑z,Cy,Dz)O3‑‑‑‑‑(P),其中:0<w<1.0、0≤x≤0.2、0≤y<1.0、0≤z≤0.2、0<w+x<1.0;A为K以外的离子价为1的A位元素,B为A位元素,C为离子价为5的B位元素,并且D为B位元素;A~D各自为一种或多种金属元素;并且虽然1:3是A位元素的总摩尔数和B位元素的总摩尔数与氧原子的摩尔数的标准比例,但是该比例可以在能够形成钙钛矿型结构的范围内偏离1:3。 |
地址 |
日本东京 |