一种光刻机硅片台的主动驱动线缆台

摘要

本发明提出一种光刻机硅片台的主动驱动线缆台，包括Y向滑台，Y向导轨和五连杆机构，所述Y向滑台通过气浮轴承设置在所述Y向导轨上，所述五连杆机构一端连接于所述Y向滑台，另一端通过线缆设施连接于硅片台，其中，所述Y向滑台由电机驱动在Y向与硅片台保持同步运动，所述线缆设施经由所述Y向滑台沿所述五连杆机构输送到所述硅片台上，所述五连杆机构具有主动驱动关节，用于驱动所述五连杆机构沿X向运动，从而带动所述线缆设施沿X向运动。本发明提出的光刻机硅片台的主动驱动线缆台，实现对线缆台的主动控制和线缆台对硅片台在X-Y平面的跟随运动。

主权项

一种光刻机硅片台的主动驱动线缆台，其特征在于，包括Y向滑台，Y向导轨和五连杆机构，所述Y向滑台通过气浮轴承设置在所述Y向导轨上，所述五连杆机构一端连接于所述Y向滑台，另一端通过线缆设施连接于硅片台，其中，所述Y向滑台由电机驱动在Y向与硅片台保持同步运动，所述线缆设施经由所述Y向滑台沿所述五连杆机构输送到所述硅片台上，所述五连杆机构具有主动驱动关节，用于驱动所述五连杆机构沿X向运动，从而带动所述线缆设施沿X向运动。