图案测定方法、图案测定装置以及利用其的程序

摘要

在测定过程变动大的图案的情况下，在预先登记的测定区域中，若在测定对象图案的周围存在不是测定对象的图案或废料等的噪声时，则不能够进行正确测定。将样品的图像数据中的进行图案匹配而用于对位的规定的区域设定为从图案测定的对象中除外的非测定对象区域。例如在测定过程变动大的图案的情况下，图案匹配中仅使用包含过程变动小的图案在内的区域，图案测定时，将在图案匹配中使用而用于对位的规定的区域设定为非测定对象区域。由此，能够不受测定区域与非测定对象区域相重叠的区域的影响，即使对于过程变动大的图案也能够进行容易且稳定的图案测定。

主权项

一种图案测定装置，其特征在于，具备：测定区域设定部，其在通过对样品进行摄像而获得的图像数据中设定测定区域；匹配部，其在所述图像数据与预先所存储的图案数据之间进行图案匹配；非测定对象区域设定部，其将通过该匹配部进行了对位的所述图像数据中的规定区域，设定为从测定对象中排除在外的区域；和图案测定部，其提取在该测定区域包含的信号，来测定形成于所述样品上的图案，所述图案测定部将在所述测定区域与所述规定区域相重叠的区域中包含的信号排除在外来进行图案测定。