| 发明名称 |
一种声表面波（SAW）换能器 |
| 摘要 |
本实用新型公开了一种声表面波（SAW）换能器，包括基底、叉指换能器电极组成，其特征在于，所述基底采用的是金刚石/ALN/Al/BN多层膜结构，所述叉指换能器电极采用的是AL/ALN双层膜结构。本实用新型可以实现高频、低传播损耗、高机电耦合系数、指条寿命长的需求。 |
| 申请公布号 |
CN203027217U |
申请公布日期 |
2013.06.26 |
| 申请号 |
CN201220739472.5 |
申请日期 |
2012.12.30 |
| 申请人 |
淮南联合大学;朱小萍 |
发明人 |
朱小萍 |
| 分类号 |
H03H9/64(2006.01)I |
主分类号 |
H03H9/64(2006.01)I |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
一种声表面波（SAW）换能器，包括基底、叉指换能器电极组成，其特征在于，所述基底为金刚石/ALN/Al/ BN多层膜结构，所述叉指换能器电极是AL/ALN双层膜结构。 |
| 地址 |
232038 安徽省淮南市洞山西路淮南联合大学新校区 |
