多晶硅芯酸洗连体槽

摘要

一种多晶硅芯酸洗连体槽，其包括主槽、副槽。主槽设于副槽腔内的上部，形成主、副槽的一体化槽体。主槽外壁与副槽的内壁留有间隙，主槽的上部边缘设有矩形溢流口，主、副槽之间还联通有可冷却主槽内的药液的冷却系统。本实用新型将原本处于主槽之外的副槽合二为一，使得结构简单，具有良好的稳定性，安全性和效率。通用于各种多晶硅材料的化学处理设备中，可针对不同的需要采用不同的处理方式。各功能优势互补，互不干涉，以便达到最好的处理效果。在满足顾客的功能需求的同时，提高了安全性能。

主权项

一种多晶硅芯酸洗连体槽，包括主槽（1）、副槽（6），其特征在于，所述的主槽（1）设于副槽（6）腔内的上部，形成主、副槽的一体化槽体；所述主槽（1）外壁与副槽（6）的内壁留有间隙，主槽的上部边缘设有矩形溢流口（2），所述主、副槽之间还联通有可冷却主槽（1）内的药液的冷却系统。