分光器中的倾斜修正方法

摘要

在分光测定前的粗调工序中，使移动镜移动（＃11），将由4分割传感器接收到移动镜的反射光与固定镜的反射光的干涉光时的各分割元件的输出相加，来检测干涉光的对比度的变化（＃12），并且基于该对比度的变化，检测两反射光的相对倾斜量（＃13），对初始倾斜误差进行修正（＃14）。另一方面，在分光测定前的微调工序中，基于由4分割传感器接收到两反射光的干涉光时的各分割元件的输出的相位差，检测两反射光的相对倾斜量以及倾斜方向，对初始倾斜误差进行修正。

主权项

一种倾斜修正方法，是对分光器中的移动镜的反射光与固定镜的反射光的倾斜误差进行修正的倾斜修正方法，其特征在于，具有：初始调整工序，该初始调整工序包括：在分光测定前对上述两反射光的初始倾斜误差进行检测并修正的粗调工序、和与上述粗调工序相比更细致地对上述初始倾斜误差进行检测并修正的微调工序；以及动态校准工序，在分光测定中，对因上述移动镜的移动而产生的上述两反射光的倾斜误差进行检测并修正；在上述粗调工序中，将激光分离成2份光并导向上述移动镜以及上述固定镜，将一边使上述移动镜移动一边由4分割传感器接收到上述移动镜的反射光与上述固定镜的反射光的干涉光时的各分割元件的输出相加来检测上述干涉光的对比度的变化，并且基于上述对比度的变化来检测上述两反射光的相对倾斜量，对上述初始倾斜误差进行修正，在上述微调工序中，基于由上述4分割传感器接收到上述两反射光的干涉光时的各分割元件的输出的相位差，来检测上述两反射光的相对倾斜量以及倾斜方向，对上述初始倾斜误差进行修正。