| 发明名称 | 冷却改进的快速热处理灯头 | ||
| 摘要 | 本发明公开一种冷却改进的快速热处理灯头。一种用于热处理中的灯头，包括：整体件，具有多个冷却剂通道和多个灯通道及多个反射腔，其中各个灯通道设置以容纳灯，并且各个反射腔经构形以作为反射器或用以接收所述灯的可替换式反射器，且其中所述多个冷却剂通道是配置邻近所述多个灯通道；及至少一个热传送件，自所述整体件延伸进入各个冷却剂通道，其中所述至少一个热传送件延伸进入各个冷却剂通道高达各个冷却剂通道的整个高度。一些实施例中，灯头可配置在设备中，所述设备包括具有基材支撑件的处理腔室，其中灯头经配置以提供能量至基材支撑件。 | ||
| 申请公布号 | CN103177990A | 申请公布日期 | 2013.06.26 |
| 申请号 | CN201310055788.1 | 申请日期 | 2009.09.09 |
| 申请人 | 应用材料公司 | 发明人 | 约瑟夫·M·拉内什;库赫斯特·索瑞伯基;凯达尔纳什·桑格姆;亚历山大·勒纳 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I;F27B17/00(2006.01)I;F27D5/00(2006.01)I;F27D21/00(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/67(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人 | 徐金国;王金宝 |
| 主权项 | 一种用于热处理中的灯头，包括：整体件，具有多个冷却剂通道和多个灯通道及多个反射腔，其中各个灯通道设置以容纳灯，并且各个反射腔经构形以作为反射器或用以接收所述灯的可替换式反射器，且其中所述多个冷却剂通道是配置邻近所述多个灯通道；及至少一个热传送件，自所述整体件延伸进入各个冷却剂通道，其中所述至少一个热传送件延伸进入各个冷却剂通道高达各个冷却剂通道的整个高度。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||