一种镀膜用阴极磁棒装置

摘要

本实用新型涉及到一种磁控镀膜装置，尤其涉及到一种磁控溅射镀膜阴极磁棒装置，更涉及到一种防水、磁极均匀分布的磁控溅射镀膜阴极磁棒装置，本实用新型采用的技术方案是包括磁芯轴装置、以及设置在磁芯轴装置圆周上的磁钢座装置、设置在磁钢座装置上的磁钢装置，连接磁芯轴装置和磁钢座装置的抱箍装置，以及设置在磁钢座装置两侧的托辊装置，其中，所述磁钢装置包含中磁钢装置，侧中磁钢装置，端磁钢装置，所述中磁钢装置与侧中磁钢装置的排布夹角最佳为50°，所述中磁钢装置与端磁钢装置的排布夹角最佳为50°，本实用新型提高了镀膜阴极靶的溅射速率，沉积速率和靶材利用率。

主权项

一种镀膜用阴极磁棒装置，包括磁芯轴装置（6）、设置在磁芯轴装置圆周上的磁钢座装置（1）、设置在磁钢座装置（1）上的磁钢装置（3），连接磁芯轴装置（6）和磁钢座装置(1)的抱箍装置(5)，设置在磁钢座装置(1)两侧的托辊装置(4)，其特征在于，所述磁钢装置(3)包含中磁钢装置（30），侧中磁钢（30´），端磁钢装置（30´´），所述中磁钢装置（30）与侧中磁钢装置（30´）排布夹角范围可选0°~90°之间的任一角度，所述中磁钢装置（30）与端磁钢装置（30´´）排布夹角范围可选0°~90°之间的任一角度。